方晓东  讲席教授

个人介绍：

方晓东，日本大阪大学工学博士，光源与照明系主任，入选中科院“百人计划”。先后应聘任职日本日立公司半导体工艺器件开发主任工程师、日本大阪大学客座教授、中科院安徽光机所研究员、中国科技大学教授、博导。主要研究方向是激光技术和材料物理。主要特长是准分子激光技术及应用研究。主持了国家科技重大专项、国家重大科研仪器研制项目、国家自然科学基金、中科院科研装备研制等科研项目。国产光刻机光源ArF准分子激光器、显示制造装备的大功率XeCl准分子激光器等研发取得多项成果，获省级技术发明一等奖1项，二等奖2项。在激光技术和微纳材料器件领域发表SCI学术论文两百多篇，申请国内外发明专利60余项。培养硕士博士研究生100多名。现任中国感光学会常务理事、中国感光学会影像信息材料与技术专委会主任、中国光学学会激光加工专委会常委、深圳市激光智能制造行业协会专委、《量子电子学报》编委等职。