方晓东
来源:   作者:   点击数:   日期:2020/06/11
职务名称 特聘教授

方晓东  特聘教授


个人介绍:

方晓东,特聘教授,日本大阪大学工学博士,入选中科院“百人计划”。先后就职日本日立公司任半导体工艺开发主任工程师、日本大阪大学任客座教授、中科院安徽光机所研究员、中国科技大学教授、博导。主要研究方向是激光技术和材料物理。主要特长是准分子激光技术及应用研究。作为项目(课题)负责人主持了国家科技重大专项、国家重大科研仪器研制项目、国家自然科学基金、中科院科研装备研制项目等。承担并完成了集成电路半导体光刻光源相关技术研发、高端平板显示制造的准分子激光设备关键技术研发、准分子激光医疗设备研发等项目。在激光技术和微纳材料与器件领域发表SCI学术论文一百多篇,申请国内外发明专利50余项。作为第一完成人获省级技术发明一等奖1项。现任中国感光学会常务理事、中国感光学会影像信息材料与技术专委会主任、中国光刻产业联盟理事等职。

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